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レジスト塗布について

けいさん
質問日時: 2017/06/02 10:29

レジストをスピンコートする場合、回転数を分けて回転させるのですがその理由は何故でしょうか。

詳しい方おりましたら、教えて頂けると嬉しいです。
宜しくお願い致します。

追記1
追記日時: 2017/06/12 08:10

分かりにくい質問内容ですみません。

スピンコーターを用いてレジスト塗布を行った場合。
①レジスト厚みを可変させるパラメータはどのように変化するのでしょうか。
②回転数に比例してレジスト厚みも変化するのでしょうか。
③どのレジストでも同じ結果になるのでしょうか。

また、最初からメインの回転数ではなく、何段階かの回転数に分けているのは何故でしょうか?

よろしくお願い致します。

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回答1
回答日時 : 2017/06/11 11:02

岩魚ちゃんさん

回答が付かない様ですが・・・ ご質問の主旨が分かりにくいからではないでしょうか?
もう少し具体的な形で尋ねられた方が回答を得易いと思います。

単純に回転数の違いであれば、(他の条件は同じと仮定して)
コーティング厚さを厚くしたい場合には回転数を低く、薄くしたい場合には回転数を高く設定する事になると思います。

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