アクリル製真空タンクにアルゴンガス注入酸素濃度が上がる

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アクリル製真空タンクにアルゴンガス注入酸素濃度が上がる

プララさん
質問日時: 2010/07/31 18:34

アクリル製真空タンク≒100リッターを真空度-90~-100キロパスカルの状態にして、
アルゴンガスG3、99.999%・酸素含有0.2ppmを入れガス置換をする場合注入し始めると酸素濃度が
上がってきますが、配管及びタンクのリークは15秒くらいで1ppm位の状態です。
如何してでしょうか、アクリタンク素材其の物も関係するのでしょうか。
又配管は現在ナイロンチューブに樹脂リング継手をエポキシ樹脂で接着(チューブが接着により離脱できない、無理に取ろうとすると破断の状態)このチューブ配管を予算の関係で銅配管、フレアー継手に変えようと考えてますがこの場合も良いのか教えてください。
何分マイナス圧は(100キロパスカル)未経験の為よろしくお願いします。

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回答1
回答日時 : 2010/08/02 16:39

AKITAKEさん

真空のリークを止めるのは非常に時間と労力が必要です。

ヘリウムリークディテクタを使用すると簡単にリーク箇所が検出出来ると思います。

イプロスにも登録があります。

http://www.ipros.jp/adv/02979/
http://www.ipros.jp/adv/11069/

http://www.toyokokagaku.co.jp/product/06_02_02.html

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AKITAKEさんへのお礼 お礼日時: 2010/08/02 17:11

ヘリウムリークディテクターという検出器があるんですね、今まで真空配管等専門の
方に来て頂きアルコールでのリーク検査をしていましたが、あいにくアルコールはアクリル樹脂に対してよくありませんし、真空状態の応力が掛かってる状態はもっと影響が
出る可能性のため、配管検査を先にその後全体と言う具合に進めてきました。
ヘリウムガスなら問題ないと思いますので、その関係を考えます。
有り難う御座いました。

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回答2
回答日時 : 2010/08/02 16:14

星の王子さん

・フランジの締め付け不良
・フランジシール面の傷(ICFなどエッジ・VFフラット面など)
・溶接部分の割れやピンホールなど
・Oリングシールの劣化やキズ
・タンク(チャンバー)の封止部
・あらゆる部品の割れやキズetc・・・
リークなどの要因はいくつも挙げられます。
タンクや配管はどんなに真空状態にしても必ず漏れは存在しますんでそこだけはご理解下さい。

http://www.eishin-tec-co.jp/leaktester/material.htm
ご参考までに。


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星の王子さんへのお礼 お礼日時: 2010/08/02 17:05

有り難う御座います、確かにいくつ物要因が考えられます。
再度確認いたします。

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