ガラス異物の原因について。

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ガラス異物の原因について。

junkawaさん
質問日時: 2010/08/20 08:46

クリーンルーム内のプロセス装置(焼成炉)内でガラス異物が発生しており、その発生源を調査しています。
 おたまじゃくしのような形状をしており、球の部分は100μm程度で、ファイバーの部分の系は5μm程度になります。組成は無アルカリガラスです。
 FFUのフィルターが原因でしょうか?
 ガラスファイバーが使われていることは知っておりますが、ファイバー端に球状のガラス球が残っているのでしょうか?
 それとも断熱材からの発塵でしょうか?

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回答1
回答日時 : 2010/08/20 10:44

星の王子さん

FFUってファンで吸い込んだ空気をフィルターを通して清浄化し、クリーンエアとして送り出す奴ですよね?特にHEPAフィルターやULPAフィルターを内蔵したものは、クリーンルームやクリーンブースでの使用に適合ていて、天井に組込んだり天井に取り付けたりして使用するため薄型化、軽量化が進んでいるって聞いてます。
土木関連ですとガラス長繊維強化プラスチック発泡体って謳われているようですが・・・
私もあまり詳しくはございませんので、イプロスさんでも掲載のある忍足研究所様にお聞きになられては如何でしょうか?
http://www.ipros.jp/company/274981/



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星の王子さんへのお礼 お礼日時: 2010/08/24 08:44

ご親切な回答ありがとうございます。

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回答2
回答日時 : 2010/08/20 10:57

plusさん

フィルターの可能性が大きいと思いますが
プロセス装置内で熱処理?中に化合してガラス化する成分が
含まれていないかの検討も必要と思います
検討済みでしたら無視してください

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plusさんへのお礼 お礼日時: 2010/08/24 08:44

ご親切な回答ありがとうございます。

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回答3
回答日時 : 2010/08/22 23:27

お役に立てばさん

プロセス装置(焼成炉)について判らないのですが、
㈱グローバル(http://www.global-japan.co.jp/company.html)さんの
ようなものでしょうか。繊維形状的にはFFUの繊維にも似ていますが、ガラス繊維を
溶断すると記述内容のような形状になるかも知れません。
耐熱性FFUにはガラス繊維が使用されますが、本来除塵用の中性能やHEPAフィルター
からはガラス繊維が発塵することはまず考えられません
(メーカーの日本無機さんにも確認下さい)
㈱グローバルさんのhttp://www.global-japan.co.jp/product_eco50.html に
「発塵対策としてHEPAを吹き出し口に設ける」とありますが、このような焼成炉で
あれば、フィルターの装着状態が悪く、焼成炉自身の断熱用ガラス繊維が発塵している
可能性はないでしょうか。焼成炉メーカーの確認するとともに、パーティクルカウンターで
発塵源を調べることをお勧めします。

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お役に立てばさんへのお礼 お礼日時: 2010/08/24 08:44

ご親切な回答ありがとうございます。

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回答4
回答日時 : 2010/08/23 15:52

ennさん

クリーンルームに入り込む空気、水などの処理は十分に検討されていると思います。
発生する異物については検討されていますでしょうか。
FFUに装着するフィルターについて有機ガスやボロンが発生する場合があります。
また、フィルターの効率試験の試験粒子は現在DOPやPAOは使用せずシリカを使っています。
フィルターの風向面を逆にセットすると微量ながらシリカが剥離してクリーンルーム内に拡散する場合もあります。
低ボロンフィルターの使用等対策は可能と思います。
http://www.nipponmuki.co.jp/products/filter/
焼成炉内でどのように変化するかはわかりませんが、参考になりましたら。

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ennさんへのお礼 お礼日時: 2010/08/24 08:44

ご親切な回答ありがとうございます。

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回答5
回答日時 : 2011/04/23 19:26

yossyさん

焼成炉の断熱材にセラミックファイバーが使われていませんか?
セラミックファイバーは、アルミナ・シリカ等を溶融して吹き飛ばして繊維化しますので、繊維の先端は、涙状の形です。これはショットと呼ばれています。メーカーによって違いますが、断熱材の重量割合に対し半分がショットの製品もあります。
化学分析してシリカ・アルミナ系の化学成分であり、断熱材の化学成分と一致するかどうかです。

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回答6
回答日時 : 2012/02/24 15:52

Sunsetさん

無アルカリガラス(E-glass)を繊維化するには、高温(≒1200℃)に溶融したガラスをノズルから高速で引き出し、グラスファイバーとします。
その時、溶けたガラスに失透・脈理・異物などがある場合に、極々稀にですがグラスファイバーが切断せずにそのまま引き出される場合があります。
その部分は、数十μm~数百μmの太さとなり、貴方が見つけました"おたまじゃくし”の様な形状となっています。
FFU(?)フィルターに繊維径5μm(極細ガラス繊維)のグラスファイバーが使われているようですが,一般的にフィルターへ使用されるガラス繊維は,格下げ(電絶用途不可、屑など)品が主流となっています(安価)。
特に今回は繊維径5μmに混入していたとの事、極めて稀な事です。

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