生産停止時のクリーンルームが汚くなるは何故?

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生産停止時のクリーンルームが汚くなるは何故?

OZUKAさん
質問日時: 2011/04/27 12:02

クリーンルームのパーティクルデータを取ると、人がいなくなって装置が止まっている時に、通常生産時の5倍~10倍多くなります。(通常生産時0.5μ/50,000~80,000)
特に土日の夜は最高で800,000位になります。
現在、エアコン、加湿器を調査中ですが、他に原因となる要素があったら教えてください。
パーティクルデータから、温度が上がると綺麗になり、温度が下がると汚くなく傾向はみられます。
簡単な説明で申し訳ありませんが、必要により追加説明致しますので、宜しくお願いします。

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回答1
回答日時 : 2011/04/27 13:26

ennさん

クリンルームはおおむね正圧(陽圧、+圧)に保たれています。運転を停止すると加圧空気の流れもなくなり、空気の逆流が起こります。これで汚染空気がクリーンルーム内に入ってしまいます。
運転時は、外気を清浄化処理を行って室内に給気します。室内の圧力が上がり開口部から室外へ空気が流出します。
停止すると室外空気(汚染空気)が開口部から流入します。室内温度が低下すればより多くの空気が流入します。
また循環空気のレイアウトにもよりますが、室内空気レタン側から吸込み空気が室内に戻りレタンダクト内の粉塵が室内を汚染する場合もあります。
クリーンルームの空調(清浄機器)は基本的に24時間運転です。またどうしても停止する場合は、送風機器は運転、最低でも外気処理、導入機器は運転しておいた方がよいと思います。

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ennさんへのお礼 お礼日時: 2011/04/27 19:33

早速の回答ありがとうございます。クリーンルームと書きましたが、きちんとしたクリーンルームではなく空調はエアコンだけと聞いています。リフロー炉などからの排気のダクトは有り24時間排気しているそうです。しかしもう一度、清浄機器の有無、あれば使用状況を確認したいと思います。またアドバイス宜しくお願いします。

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回答2
回答日時 : 2011/04/27 17:46

お役に立てばさん

ennさんの回答の通りで蛇足となりますが、
室内が完全密閉でない限り、寒冷時期は空調温度より室温が低下しますと
室内(空気、容積)の収縮で減圧になるのでダーティーエアが吸入されます。
当然のことながら、逆に外気が設定温度より高い時期は影響が少ないです。
空調、給排気、循環の部分運転で最低限の陽圧維持をすれば省エネが図れると思います。
空調は運転台数を減らすと、却ってフル運転状態になる事も考えられ、
停止による温度変化が大きいと立上げの電力消費も多くなります。
部屋の断熱状況にもよります。
トータル的に省エネを考えられたらいいかと思います

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お役に立てばさんへのお礼 お礼日時: 2011/04/27 20:55

ありがとうございました。クリーンルーム内と外気の温度差関係とても参考になりました。
また、フォロー宜しくお願いします。

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回答3
回答日時 : 2011/04/28 07:24

エトンさん

空調についてかじった程度の知識なので、あまり参考にならないかもしれませんが、エアコン、加湿器を調査中とのことで、方向性は間違いないと思われます。

通常生産時0.5μということからして、HEPAを使用していないのは分かりました。
人がいなくなり装置も停止しているということは、その分だけ温度も下がりますので室内の空気の飽和水蒸気量にも変化が出てきますよね。

除湿対策をしていても、設置の仕方や空調機器の性能にも寄りますが、あまり効果のないこともあるそうです。

0.5μというパーティクルカウンターでの計測値はダスト成分ではなく水の粒子で、可視出来ない、濡れることのない加湿器状態なのではないかと推測しました。

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回答4
回答日時 : 2011/04/28 09:19

やまさん

解決の目安ですが、クリーンルーム以外の場所のパーティクルデータを取ってみれば原因が分かると思います。
過去の経験からすると過湿状態になっているように思えます。
クリーンルームはパーティクルだけでなく、温度、湿度も常時監視下さい。

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回答5
回答日時 : 2012/11/05 10:45

しろくまさん

こんにちは

 作業時のパーチクルと 終了時のカウンター量が異なるのは、
 作業時の発生カロリーによる 対象粒子の天井部付近への停滞だと思われます
 
 パーチクルカウンターの測定粒径がわかりませんが 天井停滞では?

 天井部形状及び容積比がわかりませんけど。
 天井部換気部が 下がりが600L程度下がった位置で集排気ガラリの
 設定があるのでは?そんな雰囲気です。

 室温が低下し湿度が上がると舞い上がった低粒子の物質が落ちてきて
 パーチクルカウンターの数値が上がると推測します。
                 ご参考までに 

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