蒸着における汚染について教えて下さい。

エンジニア質問箱

質問箱メニュー

検索

質問する

蒸着における汚染について教えて下さい。

おじちゃんさん
質問日時: 2017/06/20 17:21

抵抗加熱蒸着にお詳しい方にご質問します。
例えば、電極1対、蒸着室1つの装置をの金属蒸着を行ったとして、蒸着試料にはコンタミネーション(汚染)というのがあるとお聞きしました。
何の金属材料を蒸発物に使うのかなどまだ掴めていないのですが、蒸着室1つの装置でそういった汚染を防ぐにはどういったやり方があるのでしょうか?

この質問にキーワードを設定する

違反通報

この質問に回答する

並び替え:
▼最新順に表示
▲投稿順に表示
回答1
回答日時 : 2018/01/30 14:43

plusさん

蒸発源の材料は 蒸発材料や蒸着材料と合金をつくらない物質を選ぶ

蒸発材料の蒸気圧は その蒸気温度において真空室内圧力よりも十分低いこと

アルミは蒸発源の金属と合金になりやすいので十分低い温度で蒸発させること

この回答が「なるほど」と思ったらクリック→

なるほど0人

違反通報

並び替え:
▼最新順に表示
▲投稿順に表示

この質問に回答する

この質問をブックマーク

最新の質問

テフロン貼りダイアフラム   材質:合成ゴムPTFE+...
ダイアフラム真空ポンプを使用していて、ダイアフラムの表面に茶色(?)の粉がたまっていたのですが...
文字化けの修復
Winxpで、VB6のソフトを作りました。 このソフトをWin10に移して開いたところ、一部...
無機酸塩とは?
無機酸塩というものがわかりません。 人体にとって有用なものなのか 害があるものなのか教えてく...

月間ユーザーランキング TOP10



質問箱メニュー

検索

質問する

あと2000文字入力できます。

入力欄を広げる

ページトップへ