蒸着における汚染について教えて下さい。

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蒸着における汚染について教えて下さい。

おじちゃんさん
質問日時: 2017/06/20 17:21

抵抗加熱蒸着にお詳しい方にご質問します。
例えば、電極1対、蒸着室1つの装置をの金属蒸着を行ったとして、蒸着試料にはコンタミネーション(汚染)というのがあるとお聞きしました。
何の金属材料を蒸発物に使うのかなどまだ掴めていないのですが、蒸着室1つの装置でそういった汚染を防ぐにはどういったやり方があるのでしょうか?

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回答1
回答日時 : 2018/01/30 14:43

plusさん

蒸発源の材料は 蒸発材料や蒸着材料と合金をつくらない物質を選ぶ

蒸発材料の蒸気圧は その蒸気温度において真空室内圧力よりも十分低いこと

アルミは蒸発源の金属と合金になりやすいので十分低い温度で蒸発させること

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