半導体ウェハケースの梱包仕様について教えてください。

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半導体ウェハケースの梱包仕様について教えてください。

hiroboboさん
質問日時: 2017/06/22 01:35

製造された半導体ウェハ(8インチ)を出荷する際に行う梱包についてです。
私の所属する会社では、ウェハケースに入れて、乾燥剤を入れて袋に入れて脱気梱包しています。このやり方は、20年前の仕様からずっと同じであることがわかりましたが、なぜ、ウェハケースをこのように梱包しているのか当時の技術資料もなく理解できません。私の会社では梱包について理解がある人がおらず調べてもわからずです。私の勝手な推測ではパッケージの梱包からの考え方をそのまま踏襲しているだけのものではないかと思っています。パッケージの梱包であれば乾燥材を封入することは理解できるのですが?
また、関係のある会社を調べたところ、乾燥剤が入っていたり、いなかったりで。
技術的な考え方をお持ちの方、ご教授いただければと存じます。

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回答1
回答日時 : 2017/09/21 00:09

ほんわかさん

ボンディングパッド材質によるのではないでしょうか
Alパッドやハンダポールでは乾燥剤必須で
Auパッドでは入れたり入れなかったりとか

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なるほど0人

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