酸化膜ウエットエッチングについて

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酸化膜ウエットエッチングについて

けいさん
質問日時: 2017/08/24 08:04

酸化膜のウエットエッチングにはHFとBHFがありますが、どのような特徴があり、どのようにつかい分けるのでしょうか?

追記1
追記日時: 2017/08/31 08:50

酸化膜のウェットエッチング、HFとBHFで
①それぞれの特徴
②使い分けについて
③代表的な濃度におけるHF、BHFそれぞれについて酸化膜とSiのエッチレート
が知りたいです。
宜しくお願い致します。

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回答1
回答日時 : 2017/08/25 13:11

ほんわかさん

ざっくりとした質問なので 回答もざっくりと

HFとBHFでは対象物に対するエッチレートの制御のために使い分けます

ですね。

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