アルミニウム等の成膜について

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アルミニウム等の成膜について

ワンさん
質問日時: 2018/10/27 09:21


先日、スパッタリング装置で銅線材へのAlスパッタリングを行っていたのですが、

成膜できている部分とできてない部分が見つかりました。

今回はたまたま成膜できていない部分が見つかりましたが、

もしこのような事がまた起きた場合、SEM等の測定装置を用いて成膜できていない部分の

検出などは可能なのでしょうか?

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