アセトンなどの溶剤や温度変化で綺麗にはがせる仮止め接着剤に関して(微細加工)

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アセトンなどの溶剤や温度変化で綺麗にはがせる仮止め接着剤に関して(微細加工)

tk1120さん
質問日時: 2019/06/30 08:30

結晶を基板などに仮止めし、エッチングといった様々な加工を行い素子を作製した後、アセトンなどの溶剤を用いて基板から作製した素子を綺麗にはがすことが出来る接着剤をご存じであれば教えて頂きたいです。
つまり仮止めが可能かつ、取り出す際に接着剤の成分が残らない接着剤を探しております。

作製する素子のサイズは数百µmオーダー程のサイズです。
ご存じの方がおりましたらよろしくお願い致します。

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回答1
回答日時 : 2019/07/18 05:28

ほんわかさん

>エッチングといった様々な加工を行い

無理でしょう。
溶剤ではがしやすい材料では加工途中で剥がれると思います
断面解析などのときもガラス基板にガッチリ接着していました。

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