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書き込みの投稿日時:  ▼    

未解決

SiH4とN2Oの反応性について

当方、半導体真空装置の設計を勉強中ですが、チャンバーまでにいたるまでのSiH4(シラン)とN2...

回答:2件

役に立った:0人

投稿日時:2013/04/02 17:55

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